潔凈車(chē)間凈化空調(diào)特點(diǎn)及節(jié)能措施

一、潔凈車(chē)間凈化空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)

潔凈空調(diào)負(fù)荷包括：室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷；室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷；潔凈車(chē)間圍護(hù)結(jié)構(gòu)(墻、頂、地、門(mén)、窗)的傳熱、傳濕負(fù)荷；生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷；潔凈車(chē)間新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷，夏季時(shí)降溫去濕，冬季時(shí)加熱、加濕；空氣循環(huán)時(shí)風(fēng)機(jī)(或FFU)的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。潔凈空調(diào)負(fù)荷的特點(diǎn)如下：

(1)高級(jí)別潔凈車(chē)間(100級(jí)，10級(jí)，1級(jí))是垂直單向流潔凈車(chē)間，其送風(fēng)機(jī)的風(fēng)量非常大，換氣次數(shù)高達(dá)400~500h^-1，而且風(fēng)機(jī)的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大。按理論計(jì)算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機(jī)的溫升為1.5℃，僅此一項(xiàng)的負(fù)荷就是500~700W/m²；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷也要250~350 W/m²。因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大是其第一個(gè)特點(diǎn)。

(2)服務(wù)于微電子和光電子的高級(jí)別潔凈車(chē)間因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10~20h^-1 換氣。因此處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷為400~800W/m²；個(gè)別工藝的排風(fēng)量更大，故新風(fēng)負(fù)荷也還會(huì)更大，因此新風(fēng)負(fù)荷大是其第二個(gè)特點(diǎn)。

(3)生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級(jí)別潔凈車(chē)間負(fù)荷的第三個(gè)特點(diǎn)。生產(chǎn)負(fù)荷的大小與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。

(4)圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項(xiàng)負(fù)荷相對(duì)較小，三項(xiàng)負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10% (其中：照明負(fù)荷為25~30W/m²；圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷為20~30W/m²；作業(yè)人員負(fù)荷為10~15W/m²)，這是高級(jí)別潔凈車(chē)間負(fù)荷的第四個(gè)特點(diǎn)。

二、潔凈車(chē)間凈化空調(diào)節(jié)能措施

高級(jí)別潔凈空調(diào)負(fù)荷中90%以上的負(fù)荷是新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過(guò)程負(fù)荷，這也是潔凈空調(diào)的節(jié)能重點(diǎn)。

(1)降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施：減少排風(fēng)量。改進(jìn)工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)、少排風(fēng)，采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量，減少正壓漏風(fēng)量。加強(qiáng)潔凈車(chē)間圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈車(chē)間必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風(fēng)量，提高新風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。

(2)降低風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷的節(jié)能措施：在確保潔凈車(chē)間潔凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來(lái)替代全面高凈化。加強(qiáng)空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送風(fēng)方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)，以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。采用FFU加新風(fēng)機(jī)組加干盤(pán)管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷，提高風(fēng)機(jī)效率，采取變頻措施。中凈環(huán)球凈化可提供凈化工程、潔凈車(chē)間的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

(3)工藝設(shè)備和工藝過(guò)程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問(wèn)題，只能依靠工藝自己來(lái)解決。

(4)合理選擇和確定潔凈車(chē)間內(nèi)的工藝參數(shù)(溫度、濕度、潔凈度)：潔凈車(chē)間的凈化空調(diào)是重點(diǎn)能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈車(chē)間的潔凈度和溫、濕度時(shí)要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過(guò)高、過(guò)嚴(yán)要求，否則其能耗會(huì)大幅度上升。計(jì)算潔凈車(chē)間內(nèi)溫度放寬1℃時(shí)其能耗可節(jié)省3%左右；其相對(duì)濕度放寬5%時(shí)其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負(fù)荷計(jì)算時(shí)安全裕量不應(yīng)留得過(guò)大，否則設(shè)備的耗電會(huì)大大增加，為了今后的發(fā)展盡量留有動(dòng)力設(shè)備的空位。

 (5) 優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過(guò)程：凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過(guò)程的優(yōu)化對(duì)節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風(fēng)機(jī)溫升。

(6)合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備：設(shè)計(jì)建造潔凈車(chē)間時(shí)要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備(冷機(jī)、風(fēng)機(jī)、水泵)；選擇低阻高效的過(guò)濾設(shè)備，風(fēng)機(jī)和水泵的壓頭選擇不宜過(guò)高；電動(dòng)設(shè)備盡量采取變頻措施。

(7)低位熱能的利用和廢熱的回收：低位熱能和廢熱回收的潛力非常大?，F(xiàn)在很多專家在這方面進(jìn)行了大量研究，如：工藝?yán)鋮s水的回收和利用；噴水汽化潛熱的利用；冷水機(jī)、空壓機(jī)廢熱的回收以及利用冷水和中溫水回水混合制造中溫水等。

(8)其他措施：加強(qiáng)水管和風(fēng)管的保溫；減少冷熱源的跑、冒、滴、漏；采取熱回收，充分利用廢熱；盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱。

本文由中凈環(huán)球凈化CCG(www.rkyu.cn)提供，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。