凈化廠(chǎng)房的電氣設(shè)計(jì)安裝

凈化廠(chǎng)房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求，應(yīng)根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》有關(guān)規(guī)定和凈化廠(chǎng)房的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。通常情況下，主要生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)由專(zhuān)用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€(xiàn)路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)；凈化空調(diào)(含供冷設(shè)備)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專(zhuān)線(xiàn)供電。近年來(lái)我國(guó)以集成電路芯片制造和薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)為代表的微電子產(chǎn)品用凈化廠(chǎng)房建設(shè)發(fā)展迅速，這類(lèi)凈化廠(chǎng)房建設(shè)規(guī)模大、投資大，面積大、體量大，有的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需使用多種類(lèi)型物質(zhì)，且產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程多自動(dòng)傳輸、連續(xù)生產(chǎn)，一旦停電，將會(huì)造成經(jīng)濟(jì)損失，甚至可能引發(fā)嚴(yán)重的事故，為此在我國(guó)的有關(guān)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)供電系統(tǒng)作出了較為嚴(yán)格的規(guī)定。例如在《硅集成電路芯片工廠(chǎng)設(shè)計(jì)規(guī)范》中規(guī)定:硅集成電路芯片工廠(chǎng)用電負(fù)荷等級(jí)應(yīng)為一級(jí)，其供電品質(zhì)應(yīng)滿(mǎn)足芯片生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求;芯片制造用凈化廠(chǎng)房的供電系統(tǒng)應(yīng)將生產(chǎn)工藝設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備的供電分設(shè)，生產(chǎn)工藝設(shè)備宜采用獨(dú)立的變壓器供電；對(duì)于有特殊要求的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)不間斷電源(UPS)或備用發(fā)電裝置。據(jù)調(diào)查，目前我國(guó)已建或正在建設(shè)的集成電路芯片制造用凈化廠(chǎng)房等微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用凈化廠(chǎng)房，根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和建設(shè)地區(qū)的具體條件等因素，大多不僅設(shè)置有規(guī)模不等的不間斷電源(UPS)，還設(shè)有不同規(guī)模、不同類(lèi)型的備用發(fā)電裝置，以確保微電子產(chǎn)品正常、穩(wěn)定和連續(xù)的生產(chǎn)。凈化廠(chǎng)房低壓配電設(shè)計(jì)應(yīng)采用220V/380V，帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線(xiàn)制、三相三線(xiàn)制和三相四線(xiàn)制。

通常在凈化廠(chǎng)房?jī)?nèi)有較多的電子設(shè)備是單相負(fù)荷，存在不平衡電流，且在環(huán)境中有熒光燈、晶體管、數(shù)據(jù)處理設(shè)備以及其他非線(xiàn)性負(fù)荷存在，配電線(xiàn)路中會(huì)存在高次諧波電流，致使中性線(xiàn)上流有較大電流;而TN-S或TN-C-S接地系統(tǒng)中有專(zhuān)用不帶電的保護(hù)接地線(xiàn)(PE)，所以安全性好，有利于抑制電磁干擾，為此凈化廠(chǎng)房低壓配電系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。凈化廠(chǎng)房(區(qū))內(nèi)的配電設(shè)備，為了防止或減少產(chǎn)生、積存微粒，應(yīng)選用不易積塵、便于擦拭的小型、微型設(shè)備，不宜設(shè)置落地安裝的配電設(shè)備。一般在具有上技術(shù)夾層/下技術(shù)夾層的凈化廠(chǎng)房?jī)?nèi)，宜將配電設(shè)備設(shè)置在下技術(shù)夾層，并應(yīng)在上頂部設(shè)擋水措施。凈化廠(chǎng)房?jī)?nèi)根據(jù)氣流組織和各種管線(xiàn)的敷設(shè)以及凈化空調(diào)系統(tǒng)送回風(fēng)口、照明燈具、報(bào)警探測(cè)器等的布置要求，通常設(shè)置在上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或技術(shù)豎井內(nèi)等。電氣管線(xiàn)宜敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，宜采用低煙、無(wú)鹵型電纜，穿線(xiàn)導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線(xiàn)宜暗敷，電氣管線(xiàn)管口及安裝在墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。在凈化廠(chǎng)房?jī)?nèi)的上部配電方式:低壓輸配電線(xiàn)路一般采用兩種方式，即電纜橋架敷設(shè)至配電箱、配電箱至用電設(shè)備的配電方式;或封閉式母線(xiàn)槽十插接箱(插孔不用時(shí)封堵)，由插接箱至生產(chǎn)設(shè)備或生產(chǎn)線(xiàn)的電控箱。后一種配電方式只用于潔凈度要求不高的電子、通信、電工器件及其整機(jī)廠(chǎng)房中，它可為生產(chǎn)產(chǎn)品多變，生產(chǎn)流水線(xiàn)更新變動(dòng)，生產(chǎn)設(shè)備移位、增減等帶來(lái)極大方便，不需要對(duì)車(chē)間配電設(shè)備、干線(xiàn)做改造，只要將母線(xiàn)插接箱移位或利用備用插接箱引出電源線(xiàn)纜即可。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車(chē)間、無(wú)塵廠(chǎng)房等的咨詢(xún)、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

凈化廠(chǎng)房上技術(shù)夾層配線(xiàn):在凈化廠(chǎng)房上部設(shè)有技術(shù)夾層或凈化廠(chǎng)房上部設(shè)有吊頂時(shí)應(yīng)用，吊頂可分為鋼筋混凝土夾層和金屬壁板等結(jié)構(gòu)形式，凈化廠(chǎng)房普遍采用金屬壁板型吊頂。在凈化廠(chǎng)房上技術(shù)夾層的配線(xiàn)方式同上述的配電方式?jīng)]有多大差異，但要強(qiáng)調(diào)的是電線(xiàn)、電纜管線(xiàn)穿過(guò)吊頂處時(shí)應(yīng)進(jìn)行密封處理，防止吊頂內(nèi)灰塵等進(jìn)入凈化廠(chǎng)房，并維持凈化廠(chǎng)房的正(負(fù))壓。對(duì)于只設(shè)有上技術(shù)夾層的非單向流凈化廠(chǎng)房的上夾層，通常敷設(shè)有空調(diào)通風(fēng)管道、氣體動(dòng)力管道、給水管道、電氣和通信強(qiáng)弱電管線(xiàn)及橋架、母線(xiàn)等，常常管道縱橫交錯(cuò)，十分復(fù)雜，設(shè)計(jì)時(shí)需進(jìn)行綜合規(guī)劃，畫(huà)出管道綜合剖面圖，使各種管道布置井然有序，方便施工維修。通常采用多層布置的多層凈化廠(chǎng)房，在潔凈生產(chǎn)層的上部、下部設(shè)置上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層，其層高均在4.0m以上，通常將下技術(shù)夾層作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的回風(fēng)靜壓室，根據(jù)工程設(shè)計(jì)需要，電氣管線(xiàn)、電纜橋架和封閉式母線(xiàn)可以敷設(shè)在回風(fēng)靜壓室內(nèi)。低壓配電方式與前述方式?jīng)]有多大差異，只是回風(fēng)靜壓室是凈化系統(tǒng)的組成部分，敷設(shè)在靜壓室內(nèi)的管線(xiàn)、電纜、母線(xiàn)安裝敷設(shè)前要事先進(jìn)行清潔處理，并便于日常清潔。下技術(shù)夾層電氣配線(xiàn)方式送電至凈化廠(chǎng)房的用電設(shè)備，輸送距離短，凈化廠(chǎng)房?jī)?nèi)電氣管線(xiàn)少或沒(méi)有明敷管線(xiàn)，對(duì)提高潔凈度有益。

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